我國在科技部揪垄、國家自然基金委豹绪，教育部和總裝備部的資助下，一直在跟蹤國外的微型機械研究矫摸，積極開展MEMS的研究⌒渴埃現(xiàn)有的微電子設(shè)備和同步加速器為微系統(tǒng)提供了基本條件绕众，微細驅(qū)動器和微型機器人的開發(fā)早已列入國家863高技術(shù)計劃及攀登計劃B中。已有近40個研究小組肴摊，取得了以下一些研究成果姆已。廣東工業(yè)大學(xué)與日本筑波大學(xué)合作，開展了生物和醫(yī)用微型機器人的研究碉晾，已研制出一維急响、二維聯(lián)動壓電陶瓷驅(qū)動器，其位移范圍為10μm×10μm陋窗；位移分辨率為0.01μm嘱悄，精度為0.1μm隅本，正在研制6自由度微型機器人；長春光學(xué)精密機器研究所研制出直徑為Φ3mm的壓電電機兼呵、電磁電機兔辅、微測試儀器和微操作系統(tǒng)。上海冶金研究所研制出了微電機击喂、多晶硅梁結(jié)構(gòu)维苔、微泵與閥。上海交通大學(xué)研制出Φ2mm的電磁電機懂昂，南開大學(xué)開展了微型機器人控制技術(shù)的研究等蕉鸳。

    我國有很多機構(gòu)對多種微型機械加工的方法開展了相應(yīng)的研究，已奠定了一定的加工基礎(chǔ)忍法，能進行硅平面加工和體硅加工、LIGA加工榕吼、微細電火花加工及立體光刻造型法加工等饿序。