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減速機網(wǎng) 三維精密移動工作臺的設計研究 減速機網(wǎng)
來源:減速機信息網(wǎng)    時間:2008-7-18 8:32:04  責任編輯:lihongwei  
 
現(xiàn)代工業(yè)應用領域中,對精密移動工作臺提出了不同的要求颂梆。而光纖通信領域的精密移動工作臺大多要求是組裝式的添瓷,由X敢弟、Y兩個方向的精密移動機構組裝成二維精密移動工作臺:由X钙幼、Y蝶防、Z三個方向的精密移動機構組裝成三維精密移動工作臺等窄锅。由于裝配件的接觸面精度偎箫、剛度以及各運動件相對運動都會影響工作臺的精度姚熊,使得現(xiàn)有的三維精密移動工作臺的精度達不到使用要求。為了滿足光纖通信領域的使用要求必須設計一個在三個方向上微調(diào)行程為15~20mm莱检、精度在0.003mm內(nèi)的三維精密移動工作臺买鹊。

1 整體設計

根據(jù)使用要求,所設計的三維精密移動工作臺應滿足規(guī)定的行程范圍墅萌、精度筑卑、靈敏度的要求:同時還要工作性能穩(wěn)定可靠,消除空回肄酬,減小誤差陈售。設計中采用組裝式的,其三個方向是相互垂直的显憾,所以從下至上三個方向上主動件和從動件的運動方向可設定為笛卡兒坐標系中的X伦颠、Y、Z三軸向件塌。由于X侮杆、Y、Z各方向的配合面以及裝配關系直接影響到整體運行的精度漱凝,故對各裝配面以及運行部件的接觸表面都要求保持相應的精度疮蹦。
  1. 結構設計
    三維精密移動工作臺主要由支撐裝置、微位移驅(qū)動讀數(shù)裝置茸炒、承重及微位移機構愕乎、連接裝置幾部分組成。微位移驅(qū)動讀數(shù)裝置壁公、承重及微位移機構的選擇和設計對整個產(chǎn)品的設計起著舉足輕重的作用感论。主要是采用螺旋微動裝置驅(qū)動,分劃筒讀數(shù)裝置示數(shù)紊册,以及滾動摩擦導軌進行導移比肄。也就是說,整個三維精密移動工作臺由支撐裝置——底座囊陡、底板芳绩,微位移驅(qū)動讀數(shù)裝置,承重及微位移機構——三維方向上的滑板、導軌示括,以及連接裝置——直角固定塊等組成。
  2. 設計原則和設計原理
    在幾何量測量儀器設計長期實踐的基礎上痢畜,形成了一些帶有普遍性的或在一定場合下帶有普遍性的設計原則和設計原理叛始。這些設計原則和設計原理,根據(jù)不同儀器設計的具體情況轴及,作為儀器設計中的技術措施绣坛,在保證和提高儀器精度、改善儀器性能塑渤、以及降低儀器成本等方面帶來了良好的效果巢的。因此,如何在儀器的總體方案中遵循或恰當?shù)剡\用這些原則和原理饱舆,便是儀器總體設計階段中應當突出考慮的一個內(nèi)容嘴符。在本設計中,為了減少阿貝誤差的影響稻蒂,在底座的設計中盡量保證主動件與從動件之間運動的線性關系蒿荤,導軌的結構設計及其工藝上盡量保證導軌有較好的運動直線性。采用螺旋微位移驅(qū)動讀數(shù)裝置秒牙,遵循測量鏈最短原則禾绊,盡量使測量環(huán)節(jié)最少,從而減少誤差攻臀、提高整體機構的精度焕数。
    螺旋測微原理是指螺旋運動的直線位移與角位移成比例的原理。其套筒上刻有上刨啸、下兩排刻線堡赔,同排刻度線間距為1mm,上下兩排刻線錯開0.5mm设联,即與測微絲杠的螺距相等加匈。微分筒上刻有50等分刻線,當它旋轉一周時仑荐,絲杠位移0.5mm:轉動一格雕拼,絲杠移動0.01mm。所以螺旋測微器的分度值為0.01mm粘招,靈敏度為0.001mm啥寇。

1
圖1 運動件長度計算簡圖

2 關鍵部件的設計

三維精密移動工作臺的關鍵部分主要是滾動摩擦導軌,微位移驅(qū)動讀數(shù)裝置和彈簧拉力裝置洒扎。分珠簧片是其中最關鍵的零件辑甜。由圖1可知
L=e+l+ab (1)
ab=a'b'=a'c+cb'=e+cb' (2)
因為滾珠中心的線速度Vr與運動件速度Vm的關系為
Vr=Vm/2 (3)
cb'=Smax/2 (4)
因此 L=2e+l+(Smax/2) (5)
上式表明當行程為Smax時,運動件的最短長度由式(5)可求,當行程取最大位移為30mm蝎业,l為兩滾珠間的中心距增珠,為了保證承載能力,該三維精密移動工作臺每邊選4個鋼球捣卵,l可取中間兩個或兩邊兩個鋼球之間的距離弓并。e為保險量,用簧片隔離固定借陕,故兩邊兩球的e可選5mm远丸。
由式(5)可得 l=L-2e-(Smax/2)=55mm (6)
則簧片的總長可設計為 L'=l+2e=65mm (7)

3 精度分析

精度是儀器的一項重要技術指標,儀器的精度分析是儀器設計中的重要一環(huán)册安,通常它是在設計過程中始終應考慮的一個主要問題喜毅。這里的精度分析,既指儀器各零烫奏、部件誤差的合成苇皂,也指儀器設計中公差的分配和主要技術條件的確定,甚至還包括考慮為進一步減小儀器誤差而需采取的技術措施:如誤差的調(diào)整方法耙肖,補償件的設計等拳喘。如圖2所示,三維精密移動工作臺由以下3個組成環(huán)實現(xiàn)上述原理方案颤绕。

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    圖2 測量原理圖

    2
    圖3 分厘卡讀數(shù)原理圖

  1. 誤差來源
    三維精密移動工作臺是為了解決某些精度較高的測量問題而設計制造的儀器幸海。主要用來測量一定范圍空間內(nèi)的長度或距離等。其是以分厘卡驅(qū)動定位和坐標測量為基礎的絕對測量儀器奥务。它以長度基準元件與被測長度(或距離)相比較物独,從而確定被測量的大小。測量時氯葬,首先在讀數(shù)裝置——微分筒上讀出第一個讀數(shù)挡篓,然后旋動分厘卡驅(qū)動滑板,對準工件后帚称,再在讀數(shù)裝置上讀出第二個讀數(shù)官研,兩讀數(shù)之差便是工件的被測尺寸。其測量方程式為
    L=b-a
    式中:L為被測尺寸:b為第二次讀數(shù):a為第一次讀數(shù)闯睹。
    X戏羽、Y、Z三軸向上分厘卡楼吃,是采用螺旋測微方法進行直接讀數(shù)的始花。因此其測量方程為
    µ=x
    根據(jù)分厘卡的讀數(shù)原理,如圖3所示路统,誤差主要有螺距誤差1µm茴辈,測微讀數(shù)誤差1r,一般認為讀數(shù)誤差是儀器讀數(shù)的1/10,分厘卡最小讀數(shù)為10µm绎噩,即1r=t/10=1µm帕卦。
  2. 精度分析
    由上述誤差分析可得三維精密移動工作臺的總體誤差為:
    x方向上:1SX測微螺距的加工誤差、1rX分厘卡的讀數(shù)誤差缨诱、1X2第二維上X方向上的誤差漫从、1X3第三維上X方向上的誤差。
    1limX=±(12SX+12rX+12X2+12X3)½=±1.581µm
    同理求得
    1limY=±(12SY+12rY+12Y2+12Y3)½=±1.581µm
    1limZ=±(12SZ+12rZ+12Z2+12Z3)½=±1.581µm
    則三維精密移動工作臺儀器總的測量誤差為
    1lim=±(12limX+12limY12limZ)½=±2.793µm


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