一款可全面實現(xiàn)對半導(dǎo)體材料及各種硬脆材料切割加工的高精度數(shù)控多線切割機床在我省問世，其核心原創(chuàng)技術(shù)———高精度高速低耗切割控制關(guān)鍵技術(shù)及高檔數(shù)控多線切割機床躏印，日前通過了省科技廳組織的鑒定琅瘦。此舉解決了長期以來我國半導(dǎo)體材料切割加工的瓶頸掖阶，標(biāo)志著我國已成為全球少數(shù)幾個掌握高檔數(shù)控多線切割機床制造技術(shù)的國家之一。
多線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運動乌诚，把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨炮疲，將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。數(shù)控多線切割機已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割，成為硅片切割加工的主要方式虎叔。目前世界上僅有瑞士味测、日本等國家能制造數(shù)控多線切割機床。由湖南大學(xué)電氣與信息工程學(xué)院博士生導(dǎo)師戴瑜興教授領(lǐng)銜的課題組铺坞，四年來與湖南宇晶機器實業(yè)有限公司精心合作起宽，經(jīng)過艱苦攻關(guān)，終于研制成功XQ300A高檔數(shù)控多線切割機床济榨，填補了我國在制造此類設(shè)備上的空白坯沪，其技術(shù)性能優(yōu)于瑞士、日本同類產(chǎn)品腿短，打破了過去國外設(shè)備長期壟斷國內(nèi)市場的局面屏箍。目前國內(nèi)已有十余家企業(yè)訂購了該產(chǎn)品，使用效果非常理想橘忱，而價格僅為日本同類產(chǎn)品的50%赴魁、瑞士同類產(chǎn)品的30%-40%。
在成果鑒定會上钝诚，以中國工程院院士范滇元為主任委員的專家組一致認(rèn)為颖御，該項目成果具有多項自主知識產(chǎn)權(quán)，整體技術(shù)達(dá)到國際先進(jìn)水平凝颇，其中切割線的張力控制技術(shù)潘拱、收放線電機和主電機的同步技術(shù)居于國際領(lǐng)先水平。
