平面電動機設(shè)計、控制與應(yīng)用技術(shù)綜述
曹家勇 朱 煜 汪勁松 尹文生 段廣洪 張 鳴
（清華大學(xué)精密儀器與機械學(xué)系 北京 100084）
摘要 平面電動機具有二維直接驅(qū)動的特點晌涕，它在二維平面定位裝置特別是精密二維平面定位裝置中具有廣闊的應(yīng)用前景，受到學(xué)術(shù)界和工業(yè)界的廣泛關(guān)注沐祷。本文分析了平面電動機設(shè)計理論脚仔、控制方法和應(yīng)用技術(shù)的研究現(xiàn)狀，考察了平面電動機產(chǎn)品的發(fā)展概況掩浙，針對目前平面電動機技術(shù)存在的不足花吟，討論了未來平面電動機技術(shù)發(fā)展的主要方向。
關(guān)鍵詞：平面電動機 設(shè)計理論 控制方法 平面定位裝置
中圖分類號：TM35
Survey of the State of the Art in Planar Motor Technology
Cao Jiayong Zhu Yu Wang Jinsong Yin Wensheng Duan Guanghong Zhang Ming
（Tsinghua University Beijing 100084 China）
Abstract The planar motor has received wider and wider attention in the academic field and in the industrial field because of the broad prospect of its application in the planar 2-D positioning device, especially in the precision 2-D positioning device. This paper surveys the state-of-art of the design theory, the control method, and the application technology of the planar motor. The products of the planar motors are also investigated in this paper. In accordance with the current problems of the planar motor technology, some possible development trends of the planar motor technology are discussed at last.
Keywords：Planar motor, design theory, control method, planar positioning device
1 引言
與其他類型電動機一樣厨姚，平面電動機（Planar Motor）由定子衅澈、動子和支承等部分組成。在支承的限制和電磁推力的作用下谬墙，平面電動機的動子能夠帶動負載產(chǎn)生兩維的直線運動今布。若按照電動機動子輸出運動的維數(shù)將電動機劃分為一維電動機、二維電動機和三維電動機等育另，則平面電動機屬于二維電動機的一種（另外一種二維電動機稱為螺旋電動機[1]）掩半。
由于平面電動機在二維平面定位裝置（Positioning Device）特別是精密二維平面定位裝置中具有廣闊的應(yīng)用前景，平面電動機受到了學(xué)術(shù)界和工業(yè)界的廣泛關(guān)注衷谋。近十幾年來溉谣，在權(quán)威期刊和國際會議上，不時有與平面電動機相關(guān)的文章出現(xiàn)[2]榜寸。有些知名大學(xué)（如麻省理工學(xué)院）在平面電動機技術(shù)方面已經(jīng)進行了卓有成效的研究[9]胧含。目前，國際上已經(jīng)有許多涉及平面電動機及其應(yīng)用的專利公布深境，其中日本NIKON公司的美國專利就有十幾項[12]每玛。此外，某些驅(qū)動系統(tǒng)公司還推出了相關(guān)的平面電動機產(chǎn)品旅雇。
本文討論平面電動機的應(yīng)用特點芦赔，分析平面電動機設(shè)計、控制跃旁、應(yīng)用技術(shù)的研究現(xiàn)狀桥膝，針對目前平面電動機技術(shù)存在的不足，探討了平面電動機技術(shù)的發(fā)展趨勢撒穷。
2 平面電動機的應(yīng)用特點
平面電動機主要應(yīng)用場合是二維平面定位裝置匣椰。
傳統(tǒng)的二維平面定位裝置由兩組旋轉(zhuǎn)電動機驅(qū)動的直線運動轉(zhuǎn)換機構(gòu)疊加而成。由于直線運動轉(zhuǎn)換機構(gòu)（一般為絲桿螺母機構(gòu)）存在摩擦端礼、側(cè)隙禽笑、變形等一系列問題，傳統(tǒng)定位裝置的精度很難達到較高的水平蛤奥。此外佳镜，運動轉(zhuǎn)換機構(gòu)中的兩套傳動鏈上的各運動部件的附加質(zhì)量僚稿，也妨礙了定位裝置的工作臺運動響應(yīng)速度的提高。正因為存在上述問題蟀伸，傳統(tǒng)二維平面定位裝置在光刻機等精密蚀同、超精密現(xiàn)代加工設(shè)備中應(yīng)用很少。
近10年來啊掏，隨著直線電動機技術(shù)和產(chǎn)品的迅速發(fā)展蠢络，直線電動機開始在二維平面定位裝置中獲得應(yīng)用。由于不存在傳統(tǒng)定位裝置中存在的摩擦迟蜜、側(cè)隙刹孔、變形等影響運動精度的不利因
